南京晶微鑫機電科技有限公司
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產(chǎn)品型號H7G-32600-P
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地南京市
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更新時間：2026-02-02 16:36:22瀏覽次數(shù)：26次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)日本NGK陶瓷加熱器采用氮化鋁陶瓷材質(zhì)，具有高效導熱、低熱膨脹系數(shù)、環(huán)保等特性，廣泛應用于半導體加工設備等領域。以下是具體信息：
核心特性
材質(zhì)優(yōu)勢：采用氮化鋁陶瓷，熱導率可達320W·m?¹·K?¹，熱膨脹系數(shù)與硅材料匹配（293-773K范圍內(nèi)約4.18×10??K?¹），適合半導體晶圓加工等精密加熱場景。
應用場景：主要用于半導體薄膜沉積設備，通過電阻發(fā)熱體實現(xiàn)均勻加熱，保障晶圓表面高精度反
具體規(guī)格目錄型號如下所示：
H7G-21100-G 小型 125×65 100 100
H7G-21200-G 小型 125×65 100 200
H7G-22100-G 小型 125×65 200 100
H7G-22200-G 小型 125×65 200 200
H7G-22200-P 小型 125×65 200 200
H7G-22300-P 小型 125×65 200 300
H7G-22400-P 小型 125×65 200 400
H7G-22500-P 小型 125×65 200 500
H7G-32400-P 大型 250×65 200 400
H7G-32600-P 大型 250×65 200 600
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