廣州科適特科學儀器有限公司
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PI P-726重量較大物鏡掃描臺（Z軸）
P-726 PIFOC大負載物鏡掃描臺（Z軸）
剛度較高，專用于重量較大的物鏡
性能：
重量較大的物鏡的高動態定位、掃描
210g負載下，560Hz振動頻率
物鏡掃描定位，亞納米精度，毫秒級響應時間
掃描行程：100um，分辨率0.3nm
采用電容傳感器直接測量，線性度
無回差柔性鉸鏈并聯導向結構，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性
參數：
尺寸：60*50.7mm
重復精度：±3nm
目鏡直徑：M-32
推拉力：100/50N
閉環行程：100um
無負載下自振頻率：1120Hz
傳感器：電容傳感器
剛度：3.4N/um
閉環分辨率：0.4nm
串擾（X,Y）:50nm
線性度：0.02%
應用：3D成像
拍攝
顯微技術
自聚焦系統
共聚焦顯微系統
表面分析
晶片光刻檢驗
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