偉世德測控技術（天津）有限公司
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數字型氣體質量流量控制器 技術參數 量程:5sccm～300oslm(N2當量) 精度:±1
數字型氣體質量流量控制器
技術參數
量程: 5sccm～300oslm(N2當量)
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50:1(流量控制器）100:1(流量計）
重復精度: ±0.2%F.S
線性精度: ±0.5%F.S
環境溫度: 5～45℃
溫度系數: <±0.1%F.S/℃
壓力系數: <±0.5%bar
泄漏率: <2*10-8atm.ml/S
耐壓: 3MPa（流量小于30slm可選6MPa)
供電: 24vdc或±15vdc
模擬信號: 0～5vdc或4～20mA
數字信號: 液晶顯示RS232RS、485(Modbus-RTU)
連接方式: 卡套式連接或VCR連接
(連接尺寸根據客戶需求而定)
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